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第157章灵感突现（第1页）

“光源吗……”王向中闻言，也是陷入了思索当中。

的确是如林坚博士说的那般，照明系统，也就是光源，才是真正制约光刻水平发展的关键因素，其它的事情都能想办法取巧，无论是浸润式光刻，亦或是衍射光栅，它都是基于现有光源条件下的改良法。

而高压汞灯的365nm光波波长就决定了，它不可能制作出100nm以下制程的CPU，具有非常严重的时代局限性。

现在国际上最尖端的ArF光刻机所采用的DUV光源波长已经下降到了193纳米，从理论数值来计算，它最高可将分辨率提升到65nm，也就是目前全球最先进光刻工艺的极限。

现在用i线光刻机，还用高压汞灯这一套，不可能斗得过他们。

“您说得有道理，不过也未必，也许华夏今后几年就能跟上，把深紫外线照明系统给研究到位呢？”王向中半开玩笑道。

林坚闻言也是摇了摇头，道：“深紫外线照明没有这么简单。我看你们的资料，目前你们还在研究气压对成像系统的影响研究，不要怪我讲话难听，这种技术也就只能用于g线和i线光刻机上。”

“DUV深紫外线，也就是波长低于350纳米的电磁波，是用不到这项研究的，”他补充道：“尤其是VUV真空紫外（波长低于350纳米的电磁波）技术，只能在真空环境下使用，所以和气压毫无关系，这个你明白吧？”

“明白。”王向中闻言也是叹了一口气，要不是因为没有其它办法，谁会愿意一直把目光聚焦于i线光刻机的改良啊？

“我听陈正他讲过，你们在研究光刻机改良，所以才把我从阿美瑞肯叫了回来，让我帮你的忙，不过现在看来，华夏距离先进还差得很远哦。”林坚摇头道。

这话倒不是在嘲讽华夏的落后，这林坚博士所说的的确是事实，华夏想要真正自主制造出光刻机，还有很长的一段路要走。

不过在理论研究和实验研究上，此时的华夏可还一点儿都不输给西方国家！

“林博士您多虑了，其实华夏研究工作还是很到位的，最首先——华夏还是具有制造深紫外线激光器的能力的，至少在实验室中有这个能力。”王向中笑道。

“实验室里能造出来的意义不大啊，”林坚倒是对这个说法感到并不意外，在实验室不计成本地做一套零部件，以华夏的能力还是可以的，“只要不能量产，再厉害的技术也只是纸上谈兵而已。”

“没关系，路都是一步一步走出来的嘛，”王向中倒是很乐观，“我们改进康尼的光刻机肯定是用不到换光源模块了，如果要用得着这玩意的话，就必须开始独立自主制造光刻机了。”

“啥？”林坚听得眼睛都快发直了，“你说话怎么这么靠北哦，还独立自主制造光刻机，目前能把一块镜片做好都不错了。”

王向中听到林坚的质疑也是乐了，显然对方还没理解过来自己的最终愿望和目的所在，于是便避开了这个话题，道：“您看，除了光源以外，咱们还有什么可以改进的地方吗？”

林坚闻言也是摇了摇头，道：“这台NSR-1010G已经是康尼80年代的淘汰产品了，说实话，我都没想过它的潜力能开发到这个地步，我想大概是没有什么改进的必要了，还不如买新的设备。”

“好吧……”王向中也没想到，林坚居然有些瞧不起这堆宝贝——尽管在对方看来，是一堆破铜烂铁，不过在当下这个节骨眼上，华夏也就这些东西可以用了，自从前年瓦森纳协议一签之后，华夏就再也没进口过任何高精尖产品。

“不过我还是想请教您一个问题，假如说，我真的想自主研发一款DUV接近式光刻机，那我应该先做什么？”他神情严肃，目光中闪烁着前所未有的认真神色。

林坚本来想回应一句先做梦，不过在看到对方那满是认真神色的光芒后，也是愣了片刻，旋即轻轻叹了一口气，道：“如果真的要做光刻机的话，我的建议是先找激光器、镜头和光刻胶这三个突破口，有了这三个东西以后，其它的电机和机械结构之类的东西，做起来比较更容易一些。”

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