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“常院士,这是……?”栾文杰环顾四周,有些不解。
相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试,这里的设备显得过于“普通”了。
“一项纯光学的……原理性验证实验。”常浩南言简意赅,目光落在栗亚波...
“那东西确实有点意思。”张汝宁笑了笑,眼神中透出几分神秘,“不过它现在还不能动,要等你走了以后我们才能继续调试。”
栾文杰点了点头,没有多问。
两人穿过连接通道,来到另一间实验室。这里的空间比刚才的光学测试室小了不少,也没有那么多设备,但中央一个巨大的金属装置却显得格外醒目。
“这是什么?”栾文杰忍不住问道。
“这是我们最新的原型机。”张汝宁走近几步,语气略带自豪,“代号‘光刃’,是我们在极端工艺条件下尝试突破物理极限的一次大胆尝试。”
常浩南也走了过来,目光在那台机器上扫过:“看起来……不太像传统意义上的光刻机?”
“没错。”张汝宁点头,“它的核心是一套基于极紫外波段(EUV)的干涉成像系统,但我们并没有采用传统的反射镜组,而是利用了量子点结构和超材料的复合设计,试图在不依赖高精度同步辐射光源的前提下,实现亚10nm级别的特征尺寸曝光能力。”
栾文杰皱眉思索了一会儿,缓缓开口:“你们的意思是,这是一台理论上可以绕开ASML现有技术封锁的‘另类’光刻机?”
“准确来说,是一个探索性平台。”常浩南接过话头,“目前我们还在验证阶段,只能完成单层线条的曝光,无法进行大规模量产。但它证明了一条新路径的存在??如果我们能在这个基础上进一步优化材料、算法和驱动方式,未来完全有可能构建出一套独立于现有国际供应链的技术体系。”
“也就是说,这是一把钥匙。”栾文杰低声说道。
“没错。”张汝宁轻轻拍了拍那台机器的外壳,“虽然它现在还不够成熟,但它的存在本身,就已经打破了某些人对我们技术路径的垄断想象。”
气氛一时变得有些凝重。
片刻后,栾文杰突然笑了:“我得说,你们这群人真是胆子够大。”
“科研嘛,总得有人往前冲。”常浩南耸肩,“再说,我们也不是孤军奋战,背后有整个研究所的支持,还有无数工程师在默默努力。”
“这一点我深信不疑。”栾文杰点头,“今天的所见所闻,已经足够让我回去之后为你们争取更多资源和支持。”
张汝宁闻言,眼中闪过一丝欣喜,但仍保持克制:“谢谢您愿意来看一看,其实我们还有很多没展示出来的部分,比如量子点阵列的自组装工艺、超材料折射率调控模块、还有我们自己开发的光刻模拟软件。”
“这些我都会写进报告。”栾文杰认真地说,“尤其是你们对ArF-1800系统的评估,以及对未来制程极限的判断,都将成为决策层制定战略的重要依据。”
他顿了顿,语气变得更加严肃:“我知道你们承受着巨大的压力,但请相信,国家也在全力支持你们。这条路不好走,但只要坚持下去,终有一天会看到曙光。”
“我们会的。”常浩南郑重地点头。
三人站在“光刃”前,沉默了几秒。
随后,栾文杰转身准备离开。
张汝宁送他到门口,忽然想起什么似的,低声说道:“对了,关于那份B2碎片的事……我们最近在分析时发现了一些奇怪的数据波动,似乎和某种未知的材料结构有关。”
栾文杰脚步一顿:“哦?”
“我们还没完全破解,但初步推测,那可能是一种新型的二维晶体结构,具备极高的电子迁移率和热稳定性。”张汝宁压低声音,“如果这个推测成立,或许可以为我们未来的芯片架构提供新的思路。”
“听起来很有意思。”栾文杰微微一笑,“回头我会安排专人跟进这件事,如果你们需要外部资源,尽管提。”
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