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第630章 造不如买（第2页）

“我给你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奋——我虽然也高兴，也知道不能泼冷水。但如果工件台无法用在最先进的光刻机上，那它的意义就少了许多。”

“还有一点，我们目前的工业基础，只能允许我们做到这个极限。”

苏远山沉默地听着曲慧的介绍，终于明白了她的忧虑在哪。

几秒后，苏远山微笑着摇头：“曲慧姐，其实你们已经很厉害了。”

他这句话不是安慰人，而是真心这样认为。

虽然他很少直接去首都精科那边，但各种支持从来都是不遗余力的。要什么协助给什么协助，就算要机床，他也在前年的时候费尽周折地搞了一台。

所以，双工件台名义上是首都精科一个企业搞的技术，但实际上，却是一个由原首都精密仪器研究所，远芯，志远，清华这四方巨头联合进行的一次技术攻关。

从阵容上，这个团队就已经堪称豪华了。

要知道，搞机械，特别是精密机械，它不比搞程序设计。

程序设计可以叫嚣“只有想不到，没有做不到”，但机械设计还真是，你能想到，但基本上办不到。

双工件台的构思说白了，就如曲慧所说的那样，源自华罗庚老先生的统筹方法——就是在等待烧开水的过程中就把茶杯洗干净，茶叶拿出来丢进杯子里，顺便还拧着暖水壶在一旁等着，只要水开，马上就能泡茶，装水，一气呵成。比等水开了再去找茶叶洗茶杯要节约很多时间。

但真要实现起来却不简单，毕竟这是两个工件台的协同配合，而且要保持高速运动下的0.5微米的运动精度——其难度相当于在两架并肩飞行的飞机上，其中一架飞机伸出一根杆子，在对面的机身上刻0.5微米大小的字。

至于为什么曲慧会在取得如此的成果后依旧保持冷静乃至忧虑……苏远山完全能够理解。

因为曲慧刚出校门就进入了远芯，亲自参加了EDA的诞生，又亲眼见证了远芯在各个领域的崛起。

说白了，就是曲慧所参与，所看到的，全是世界顶级的技术成果。

双工件台虽然出来了，却无法给国产光刻机带来本质上的技术飞跃。

她不甘心。

“这样，曲慧姐，我给你指一条方向。”苏远山不知道双工件台技术接下来要具体往哪一边走，但苏远山却知道双工件台的未来在何方。

“嗯？你说什么方向。”

“目前工件台的最大难点还是在于高速运动下所导致的一系列麻烦，所以……如果要把目光瞄准到十年，二十年之后，瞄准到纳米级精度的话，我认为，只有一条路，就是磁悬浮。”

“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。

郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”

“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”

曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”

“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。

“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”

“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。

*

*

有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。

见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。

“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”

“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cymer的KrF光源，接下来就能量产最低0.18微米工艺节点的光刻机了。”

“我靠！”

苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”

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